主要技术指标

1.单色化X光源：单一靶面的水冷Al/Ag双阳极，最大功率600W（加速电压15kV，最大发射电流40mA），单色器罗兰圆500mm；

2. Al单色XPS（Ag 3d5/2 峰半高全宽@强度）：0.45eV@160kcps；大束斑能量分辨和灵敏度0.6eV@2.5Mcps；

3.选择性分析区域束斑大小：15μm至大束斑（φ200μm以上）包含较大束斑（100～120μm），中等束斑（60～60μm）和小束班（15～20μm）；

4.能量扫描范围：-10～3200eV；

5.荷电中和器绝缘体分析能力（PET O-C=O的C 1s峰半高全宽@C-C/C-H的C 1s峰强度）：0.68eV@20kcps；

6.电子能谱能量分析器：平均半径165mm，通过能（FAT/CAE模式）1～400eV可调；

7.深度剖析离子枪：包含单离子刻蚀和团簇刻蚀，单离子模式，可是能量500eV～5keV连续可调；托粗模式：刻蚀能量≥10keV，团簇中离子数目500～3000个；离子源类型：单个Ar原子和团簇Ar双模式。

样品要求

1.预处理尺寸要求：块状/片状/薄膜：长宽厚不超出1 cm×1 cm×3 mm（磁性样品尽量小）（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；粉末样品大于200目，不少于10mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；

2.送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤。

3.样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；

4.样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。